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Adsorptionsfallen für optimale Vakuumleistung
Adsorptionsfallen (Zeolithfallen) Edelstahl
Verwendbarkeit
Der erreichbare Enddruck von ölgedichteten Vakuumpumpen wird durch die Rückströmung von Wasserdampf und Kohlenwasserstoffen aus dem Pumpenöl stark beeinflusst. Auch zweistufige Drehschieberpumpen sind hier keine Ausnahme, obwohl die Menge der Moleküle dabei geringer ist.
Die Erzeugung ölfreier Hoch- und Ultrahochvakua, z.B. mit Turbomolekularpumpen, setzt voraus, dass bereits die Vorvakuumseite “sauber” ist. Zur Erreichung dieses Zustandes werden Adsorptionsfallen die mit Zeolith gefüllt sind, in die Ansaugleitung zweistufiger Vorvakuumpumpen eingebaut. Die gesättigte Zeolithfüllung lässt sich durch Ausheizen bei ca. 300°C wiederholt leicht regenerieren, um Totaldrucke von 10-5 mbar mit zweistufigen Drehschieberpumpen zu erreichen.
